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清潔度無塵室有哪些分類?
2023-03-21 [626]
  清潔度無塵室是污染控制的基礎。控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。
 
  清潔度無塵室是一個人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境,隨著集成電路的級數(shù)的快速成長,也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米。也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。
 
  清潔度無塵室較主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造。由于納米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。
 
  例如當金屬塵粒落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造的重要要素。
 
  清潔度無塵室可分為層流型和亂流型,層流潔凈室是指空氣由一側以同速流向另一側,使室內產生的塵?;蚣毦粫蛩闹軘U散而被平推出室外或者經(jīng)過回風口過濾器過濾處理,而達到好的除菌效果,該方式比較適合用于高潔凈度等級要求的行業(yè)潔凈室。
 
  而亂流潔凈室是指空氣由潔凈室頂部經(jīng)過組合式空調機組初中效過濾器過濾,加壓由經(jīng)過保溫的風管分散送到各個房間,然后經(jīng)過送風口送入潔凈室內,以達到凈化的效果,該送風方式比較常見,回風一般做在角落或者立柱的底部,整體回風;潔凈室的送風系統(tǒng)少不了各種空氣過濾器的嚴格控制。
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